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型號 |
YSP63FA |
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模式 |
RIE（DP模式選購） |
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高頻輸功率 |
600W |
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反應臺尺寸 |
W385×D362mm |
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內腔尺寸 |
W395×D378×H45mm（內尺寸） |
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反應氣體 |
2進氣系統（氧氣、氬氣） |
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反應氣體流量控制 |
質量流量控制器 |
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真空泵 |
旋轉式真空泵（約500L/min） |
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氣體導入口 |
反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
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外形尺寸 |
W1860×D1100×H1800mm |
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